高純液質聯用氮氣發生器的必定流量、純度的普氮和氫液質聯用氮氣發生器氣一同進入設置配備布置中，在混雜器中足夠混雜后，進入裝有鈀觸媒除氧器設置配備布置，在脫氧催化劑的成果下發生2H2+O2=2H2O的化學反應，抵達脫氧目的。

　　高純液質聯用氮氣發生器變壓吸附空分制氮(簡稱P.S.A制氮) 是一種搶先的氣體別離技術，以優質進口碳分子篩(CMS)為吸附劑，選用常溫下變壓吸附原理(PSA)別離空氣制取高純度的氮氣。 氧、氮兩種氣體分子在分子篩表面上的分散速率不相同，直徑較小的氣體分子(O2)分散速率較快，較多的進入碳分子篩微孔，直徑較大的氣體分子(N2)分散速率較慢，進入碳分子篩微孔較少。運用碳分子篩對氮和氧的這種選擇吸附性差異，致使短時分內氧在吸附相富集，氮在氣體相富集，如此氧氮別離，在PSA條件下得到氣相富集物氮氣。

　　高純液質聯用氮氣發生器的必定流量、純度的普氮和氫液質聯用氮氣發生器氣一同進入設置配備布置中，在混雜器中足夠混雜后，進入裝有鈀觸媒除氧器設置配備布置，在脫氧催化劑的成果下發生2H2+O2=2H2O的化學反應，抵達脫氧目的。液質聯用氮氣發生器脫氧后氮氣中的水氣始末冷卻器脫水，然后氮氣接連進入單調器單調，使氮氣露點達-60℃左右，單調器配備兩臺，其間一臺單調器舉辦吸附單調，另一臺把已吸附豐滿水氣的單調器舉辦再生，為下一周期吸附工作做好預備。經單調后的氮氣始末過濾器除塵，得到的就是高純氮氣。

　　液質聯用氮氣發生器段時分后，分子篩對氧的吸附抵達均衡，根據碳分子篩在不相同壓力下對吸附氣體的吸附量不相同的特性，下降壓力使碳分子篩免除對氧的吸附，這一進程為再生。根據再生壓力的不相同，可分為真空再生和常壓再生。常壓再生利于分子篩的*再生，易于獲得高純度氣體。

　　變壓吸附制液質聯用氮氣發生器(簡稱PSA制氮機)是按變壓吸附技術方案、制造的氮氣發生設置配備布置。相同一般運用兩吸附塔并聯，由全自動操控系統按特定液質聯用氮氣發生器可編腳步嚴格操控時序，替換舉辦加壓吸附息爭壓再生，結束氮氧別離，獲得所需高純度的氮氣。